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低温等离子体技术制备有机薄膜的研究进展

杨隽;汪建华

   概述了利用低温等离子体技术制备有机薄膜的主要方法、特性、应用及研究现状,简要讨论了等离子体工艺条件对薄膜结构和性质的影响,介绍了现代分析技术对有机薄膜结构的表征,阐述了近年来对低温等离子体有机薄膜物理和化学性质,包括表面性质,渗透性,电学和光学性质等方面的研究新进展,并描述了其在工业生产上的一些应用。……   
[关键词]:低温等离子体;有机薄膜;表面性质;应用
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《表面技术2004年06期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)