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微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的进展

郑怀礼

  评述了用微波等离子体化学气相沉积法制备高质量人造金刚石薄膜的最新动态和发展趋势。介绍的内容包括:制备仪器、应用领域、沉积条件等。……   
[关键词]:人造金刚石薄膜;化学气相沉积法;微波等离子体
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《表面技术1997年03期