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论等离子体在表面技术中的应用

邸柏林

  介绍了表面技术领域中应用等离子技术的诸种现代工艺及其工作原 理;讨论了等离子体在这些工艺过程中的行为作用,由其引发形成的工艺与产品的特点,以及这些工艺的应用发展前景。……   
[关键词]:表面技术;等离子体
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《表面技术1995年01期