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钛等离子渗氧研究

郑传林;徐重;谢锡善;贺志勇;董建新

  为了提高钛表面硬度和耐磨性,采用辉光放电等离子渗氧技术对钛进行表面处理.结果表明,渗氧层厚度与氧分压、温度和时间呈明显的对应关系.特别是,在空心阴极辉光放电条件下,离子轰击会加强氧的离子化,促进渗氧,有助于低价态氧化物的形成.在表层所形成的TiO其硬度达到或接近TiN的硬度水平.……   
[关键词]:辉光放电;离子轰击;渗氧硬化
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《北京科技大学学报2002年01期
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