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中子辐照损伤区对硅少数载流子寿命的影响

施毅;吴凤美;沈德勋;程开甲;王长河

  中子辐照在半导体硅晶体中形成无序区,使其电学性能受到严重影响.本文根据无序区基本特征,系统分析中子辐照对少数载流子寿命影响的过程,给出了一个完整自洽的计算表达式;理论计算了材料掺杂浓度、无序区辐照缺陷分布态,以及载流子注入量等参量对少数载流子寿命的影响.最后,将计算结果与点缺陷模型、及实验测量数量进行比较和讨论.……   
[关键词]:;少子寿命;中子辐照;无序区
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《半导体学报1989年09期
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