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软印刷技术

赵小力;董申;于海涛

  软印刷技术是基于弹性体印章/模具来转移图形结构的微纳加工技术。详细介绍了软印刷技术中转移图形结构的多种方式,并探讨软印刷技术在微纳电子学、光学、传感器、生物等领域的广泛应用。对软印刷技术的弹性体印章/模具制备、聚二甲基硅氧烷的属性、理论研究等进行了探讨。……   
[关键词]:软印刷技术;弹性体;聚二甲基硅氧烷
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《微纳电子技术2006年01期
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