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微流控分析芯片制作中的低温键合技术

辛龙涛;陈华;夏之宁

  微流控分析芯片制作方法的研究是微流控分析的基础。制作性能良好的微流控分析芯片时,基片与盖片的键合技术十分重要。本文针对近年来发展迅速的低温键合技术,对各种方法进行了评价,并对其发展前景进行了展望。……   
[关键词]:低温键合;微加工;微流控分析芯片
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《微纳电子技术2004年11期