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集成化NMOS核心工艺参数的Taurus Workbench优化

李惠军;侯国宪;赵国庆

  介绍了集成电路TCAD虚拟工厂系统Taurus Workbench,基于CMOS工艺的特点,在TaurusWorkbench环境下进行了深亚微米级n沟器件的核心参数优化。优化结果印证了新的工艺条件对器件特性的改善。……   
[关键词]:超大规模集成电路;超深亚微米;仿真;优化
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《微纳电子技术2004年09期