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电容式压力微传感器的研制

刘景春;邓永和;李玉琮

  介绍了一种经特殊工艺处理的电容式压力微传感器,分析和论证了其结构设计、工作原理和测量电路。……   
[关键词]:电容;压力微传感器;结构;测量电路
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《微纳电子技术2004年03期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)
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