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硅压阻式传感器的温度特性及其补偿

樊尚春;彭春荣

  基于硅压阻式传感器的工艺过程与后续电路设计 ,讨论了减小其温度影响的措施。文中对在相同的硅基底上 ,采用诸如扩散、离子注入、薄膜淀积以及溅射等不同加工工艺制作实现的不同的压敏电阻特性 ,特别是温度特性进行了探讨和比较。针对一种具体的硅杯结构的压阻式传感器 ,设计、选择了加工工艺 ,给出了压敏电阻的近似温度补偿公式 ,讨论了传感器补偿电路的实现方案……   
[关键词]:压阻式传感器;硅传感器;温度补偿
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《微纳电子技术2003年Z1期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)