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微结构光寻址电位传感器阵列芯片的研制

韩泾鸿;张虹;顾丽波;徐磊;陈绍凤;王利;王蕾

  详细介绍了采用MEMS技术研制的三维微结构LAPS阵列芯片 ,芯片表面划分成 5× 7个敏感单元 ,其中每个敏感区表面设置 4 0× 4 0个硅尖阵列 ,芯片背面对应地形成光耦合阵列窗口。一个 5× 7矩阵的红外LED作为光源控制的耦合到芯片背面的阵列窗口。给出了LAPS阵列芯片的扫描电镜照片和多种生化参数的光寻址测试结果 ,分析讨论了芯片厚度、LAPS曲线线性度对系统性能的影响……   
[关键词]:光寻址电位传感器;微电子机械加工技术;三维微结构;阵列芯片
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《微纳电子技术2003年Z1期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)
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