手机知网 App
24小时专家级知识服务
打 开
手机知网|搜索

深亚微米集成工艺仿真系统TSUPREM-4的功能及应用

李惠军;徐永勋

  介绍了TSUPREM-4集成电路工艺仿真系统的主要仿真功能及系统的深亚微米模型。以LDD结构的NMOS器件为例进行了二维工艺仿真,得到了NMOS器件的二维剖面结构、杂质浓度的等值分布描述以及相应的电学特性。……   
[关键词]:集成电路;深亚微米;计算机辅助设计;工艺仿真
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《微纳电子技术2003年02期