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MEMS概况及发展趋势

张威;张大成;王阳元

  主要介绍了MEMS的发展背景、研究内容、特点、现状和发展趋势。……   
[关键词]:微电子机械系统;微传感器;微执行器
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《微纳电子技术2002年01期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)
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