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硅片清洗原理与方法综述

刘传军;赵权;刘春香;杨洪星

  对硅片清洗的基本理论、常用工艺方法和技术进行了详细的论述 ,同时对一些常用的清洗方案进行了浅析 ,并对硅片清洗的重要性和发展前景作了简单论述。……   
[关键词]:硅片;清洗;湿法化学清洗
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《半导体情报2000年02期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)