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1.8GHz AlN薄膜体声波谐振器的研制

王胜福;许悦;郑升灵;韩东

  提出了基于AlN压电薄膜多层结构的1.8 GHz射频薄膜体声波谐振器(FBAR),并进行了研究。采用修正后的MBVD等效电路模型对器件的谐振特性进行了分析和模拟。给出了采用半导体加工工艺制备器件的工艺流程,并实际制做谐振器样品,样品的测试结果:器件的串联谐振频率fs和并联谐振频率fp分别为1.781和1.794 GHz,相应的有效机电耦合系数为1.8%;串联谐振频率处和并联谐振频率处的Q值分别为308和246。该谐振器样品实际尺寸为0.45 mm×0.21 mm×0.5 mm,可以用来制备高性能的滤波器、双工器和低相噪射频振荡器等。……   
[关键词]:薄膜体声波谐振器;滤波器;振荡器;Q值;有效机电耦合系数(Keff2)
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《半导体技术2012年02期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)