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新型MEMS光学电流传感器的设计

赵本刚;刘玉菲;徐静;高翔;吴亚明

  提出了一种用于检测50 Hz高压交流电的新型MEMS光学电流传感器。详细介绍了器件的敏感与光学检测原理,给出了器件结构、温度补偿、滤波和工艺的设计过程,并模拟分析了器件在交流电100~3 600 A下的性能。结果表明:滤波后可得到稳定的测量光信号;温度变化±50 K时相应的测试误差为0.2%;器件在大电流下的灵敏度优于0.02 dB/A。……   
[关键词]:微电子机械系统;光学电流传感器;扭转微镜;双光纤准直器;滤波;温度补偿
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《半导体光电2006年05期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)