新型MEMS光学电流传感器的设计

　　提出了一种用于检测50 Hz高压交流电的新型MEMS光学电流传感器。详细介绍了器件的敏感与光学检测原理,给出了器件结构、温度补偿、滤波和工艺的设计过程,并模拟分析了器件在交流电100~3 600 A下的性能。结果表明:滤波后可得到稳定的测量光信号;温度变化±50 K时相应的测试误差为0.2%;器件在大电流下的灵敏度优于0.02 dB/A。……