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高精度微驱动装置的研究

陈道炯;朱日宏;陈进榜

  本文分析压电陶瓷式微驱动装置的工作原理及其运动模式,设计了具有参数识别与自校正功能控制系统,改善了微驱动装置的性能,提高了驱动精度。在应用于国家光学计量仪器上,其性能指标达到国际同类产品先进水平。……   
[关键词]:压电陶瓷;微驱动;参数识别;自动控制
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《安徽工学院学报1992年04期
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