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基于低阶自适应模型及时滞补偿的单晶硅直径控制研究

鲁照权;郑国俊;董学平;殷礼胜;彭海军;余波

  直拉单晶硅直径与功率之间是一个复杂的四阶振荡系统,并有一定的惯性滞后,因此,使用常规方法控制该系统不能获得满意的性能.采用自适应降阶模型加时滞环节拟合复杂高阶系统,并进行时滞补偿控制.仿真结果表明:带有时滞环节的自适应降阶模型具有良好的自动拟合复杂系统及时滞补偿能力,使得直径控制系统具有良好的动静态性能.……   
[关键词]:单晶硅;直径控制;降阶自适应模型;时滞补偿
[文献类型]:期刊
[文献出处]: 《安徽大学学报(自然科学版)2010年04期
[格式]:PDF原版; EPUB自适应版(需下载客户端)