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常温半导体氧传感器

洪吉

  本文回顾了半导体气体传感器的发展历程和研究现状,在综合了大量国内外最新研究情况后,提出了一种新型的二氧化锡半导体氧传感器,它能够在不加热的条件下,在室温下检测环境气体中的氧气浓度。实验选择了现在新兴的溶胶-凝胶法置备具有大比表面积和多活性位的超细SnO_2粉末来提高传感器的气敏特性,同时讨论了如何防止该方法中二氧化锡粉末的团聚,并且使用扫描电镜(SEM)分析等现代微观分析手段,了解了传感器表面的微观形貌和化学组成。我们分析了传感器的静、动态特性,包括:暂态响应特性、初始恢复特性、线性关系、重复性、长期稳定性,湿度特性,得到了较满意的结果。针对湿度对传感器有较大干扰的事实,本文使用新颖的表面修饰方法对传感器表面进行处理,获得了较为满意的结果。讨论了传感器的总体设计,包括确定传感器的几何结构、敏感物质的种类以及形成方式等,把它们作为一个整体进行综合考虑,使传感器能够达到优良的整体性能。最后针对本文研究中发现的一些问题,对传感器的进一步发展作出了展望。……   
[关键词]:传感器;气敏特性;纳米二氧化锡;半导体气敏元件;厚膜材料;SnO;敏感元件
[文献类型]:硕士论文
[文献出处]:浙江大学2001年