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新型气体静压节流器的设计及其静态性能测试装置的研究

张雯

  本文着眼于气体静压系统的重要元件之一——气体静压节流器,研究了新型的节流方式,并围绕节流器进行静态性能测试装置的设计和实验。主要研究工作如下: 首先,将具有创新意义的复合型节流方式具化为三种机械结构设计,并申请了国家发明专利。重点建立并行微通道喷头式层流型止推用气体静压节流器(以下简称多微通道式气体静压节流器)的理论承载力模型和气膜厚度-电容值关系的模型,并仿真不同供气压力时气膜微流场的内部压强分布。 其次,考虑装置的设计精度,选择合适的零部件和加载机构,设计了专用的实验装置,能够满足S型力传感器、电感测微测头与电容测量仪同时工作。编写了专用的测量软件,使得测量数据可储存,图像实时可视化。 再者,在不同的供气压力下,分别对多微通道式气体静压节流器、双U型与双环连结型气体静压节流器进行静态性能的测量;对多微通道式气体静压节流器进行气膜厚度与电容值的测量;并对其气膜厚度受供气压力影响的情况进行测量。实验表明,文中建立的数学模型具有一定的的可信程度,且多微通道式气体静压节流器具有较好的静态性能,在0.5MPa时可测得最大气膜承载力708.4N,最大气膜刚度59.236N/μm。 最后,分析了实验的主要误差来源,对全文内容进行总结与展望。……   
[关键词]:气体静压节流器;气膜厚度测量;承载力测量;气膜刚度测量;静态性能测试
[文献类型]:硕士论文
[文献出处]:中国计量学院2012年