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微晶玻璃光学元件化学抛光工艺研究

矫灵艳;季一勤;刘涛;金玉竹

  激光陀螺光学腔体材料为微晶玻璃,工艺要求腔体的内部孔道进行化学抛光。生产中使用了一种新型微晶玻璃,为了满足抛光技术要求,需要研究与之相适合的化学抛光液及抛光工艺。通过玻璃组分和化学抛光机理的分析,制备了适合新型微晶玻璃的化学抛光液,试验中采用SEM、金相显微镜对抛光表面进行表征,确定了合适抛光时间、抛光温度、化抛方式等工艺参数;掌握了光学腔体温度单位时间内化抛去除量大小。研究成果在工程化生产中满足工艺要求。……