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用于CCD几何量测试的高倍率长工作距显微物镜设计

马洪涛;韩冰;张晓辉

  高倍率显微物镜一般工作距离只有零点几毫米,由于这一局限性,很多需要用到高倍率显微物镜的测试的场合都无法顺利完成。所以在一定的测试场合,例如CCD几何量测试时高倍率显微物镜工作距离的加长显得非常关键。文中分别从用途和数值孔径两种角度对显微镜进行了分类,结合两种分类的特点。选择了用于CCD几何量测试的高倍率显微物镜的初始结构,对其进行了复杂化,最终设计了一个β=40x、NA=0.7、工作距离为5mm的显微物镜。并分别从几何像差、传递函数、点列图、能量曲线评价了这一物镜的成像质量。……   
[关键词]:高倍率;长工作距;光学设计
[文献类型]:会议论文
[文献出处]: 《2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(下册)2009年