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多光谱ZnS基底可见到红外多波段增透膜的研制

闫兰琴;张树玉;刘伟;袁果;刘嘉禾;黎建明;杨海;苏小平

  为了提高锗基底的红外光能量的透过率和膜层的机械强度,对锗基底上高性能的红外宽带减反射膜的设计与制备工艺进行了研究。介绍了红外宽带减反射膜的合理的膜料选择、膜系设计和优化方法以及采用离子束辅助沉积技术沉积该膜系的过程。给出了离子束辅助沉积技术各工艺参数,并给出在最佳参数条件下用该方法制备的7.5~11.5μm波段宽带减反射膜单双面增透实测光谱曲线,其峰值透过率高达99.2%以上,在设计波段范围内平均透过率大于98%,膜层附着性能好,光机性能稳定,重复性好,能够通过GJB2485-95所规定的各项环境测试,并且光学性能没有明显的变化,这对于红外光学系统的应用具有十分重要的意义。……