手机知网 App
24小时专家级知识服务
打 开
手机知网|搜索

红光高清存储衍射物镜的设计与制作

魏明月;李斌;张新宇;谢长生;张天序

  通过优化算法,并采取标准微纳工艺,制作出红光高清衍射微透镜。在设计过程中,采用了瑞利-索末菲积分变换对传统的G-S算法进行优化,使仿真算法更为精确,提高了物镜的衍射效率。制作过程中,采用单步光刻和两次湿法腐蚀的加工工艺,不仅操作简单,易于控制,而且节约了造价。通过测试所制器件的表面形态和光学性能表明,其台阶结构轮廓完整清晰,表面粗糙度在几十纳米范围内,符合光学镜面要求,并且也达到了所要求的光学性能指标。……