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数据挖掘技术在半导体生产过程数据分析中的应用

王令群;郑应平;周爱华

  芯片公司为获得最大效益,必须使生产线处于高产量状态,而随着从生产线搜集的数据日益庞大,难以对其进行人工决策分析,而数据挖掘技术能够从庞大数据库中提炼出有用的信息。本文使用基于粗糙集理论的数据挖掘技术对生产线的生产率和成品率进行快速的预测;在出现产量突然降低时,使用统计分析方法迅速找到使其降低的主要原因,然后就可对其采取有效的措施,从而满足高产量的要求。……   
[关键词]:数据挖掘;半导体生产线;粗糙集;统计分析
[文献类型]:会议论文
[文献出处]: 《2005年中国智能自动化会议论文集2005年
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