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钛掺杂类金刚石薄膜的椭偏光谱研究

李传志;严一心;徐均琪

  利用非平衡磁控溅射法在硅片上制备了钛金属掺杂类金刚石(Ti-DLC)薄膜,研究发现,薄膜材料的性质与薄膜制备的参数有很大的关联。本文采用了椭偏法用一系列模型拟合了 Ti-DLC 薄膜的厚度,并测量了其光学常数。实验结果表明:Ti-DLC 薄膜的折射率随波长递减在2.6385~1.7383变化,且在632nm 波长处开始趋于平稳。……   
[关键词]:类金刚石薄膜;掺杂;椭偏法;光学常数
[文献类型]:会议论文
[文献出处]: 《TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集2007年
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