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新型薄膜声表面波器件中氧化锌薄膜的研制

陈菁菁;李冬梅;潘峰

   氧化锌(ZnO)是一种六角纤锌矿结构的半导体,其具有优良的压电特性(大的机电耦合系数和低的介电常数),因此在很多领域有着广阔的应用前景。近年来随着通讯行业和半导体技术的发展,ZnO薄膜更被广泛应用于制作多层薄膜声表面波(SAW)器件中。ZnO薄膜的压电特性来源于晶格的c轴择优取。在高声速的体材料(如金刚石,蓝宝石)上沉积高度c轴取向的ZnO薄膜将激励出高速的声表面波,从而制作出工作在GHz级以上高频波段的薄膜SAW器件。本文向采用直……   
[关键词]:声表面波器件;氧化锌薄膜;压电特性
[文献类型]:会议论文
[文献出处]: 《TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集2003年
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