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电泳法玻璃钝化机理及其应用

魏庆忠

   玻璃钝化由于具有较高的可靠性和稳定性,被广泛应用在高反压大功率二极管的台面钝化。目前形成玻璃钝化膜的方法主要有博士刀刮法,离子沉淀法、阴极溅射法,汽相沉淀法和电泳法等几种方法。电泳法虽然工艺比较复杂,但是由于它具有选择性,膜厚容易控制,一致性好,光刻兼容性强,适合大批量生产等特点而被广泛采用。……