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氮化钛薄膜对材料机械性能的表面强化研究

曹政真

  氮化钛(TiN)薄膜以其独特的性能不仅各类商品的表面装饰上有着广泛的应用,而且在机械工业也展示了巨大的应用前景。本文利用大功率偏压电源的多弧离子镀技术,采用工具镀工艺,在Ti-6Al-4V合金材料表面制备了TiN薄膜。X射线光电子能谱检测证明了所制备的薄膜确为TiN。机械性能测试表明:具有TiN涂层样品的显微硬度大大高于Ti合金基材,同时耐磨性能也明显得到改善。……