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全球化、信息化、绿色化提升中国制造业——2003年中国机械工程学会年会论文集(微纳制造技术应用专题)
举办单位:中国机械工程学会
微纳技术
纳米材料在制造业中的应用与发展
面向微纳米制造的塑性加工技术
纳米硬质合金的最新进展
考虑抛光垫特性的CMP流动性能
电热爆炸法制备超细晶、纳米晶涂层
纳米压印技术及其应用
原子力显微镜碳纳米管针尖的制备和应用
功能陶瓷(玻璃)与金属场致扩散连接技术在MEMS中的应用
表面纳米计量技术进展
Surface Nanometrology Based on SPM Techniques
纳米摩擦学的新进展
微制造系统中的特种加工技术
体硅微机械音叉式谐振器
光摄技术在驱动微机械器件方面的应用
基于机器微视觉的MEMS平面微运动测试技术
激光多普勒效应在MEMS运动测量中的应用研究
并行直写系统制作微光学器件的理论研究
混合遗传算法在二元光学元件设计中的应用
溶胶-凝胶陶瓷薄膜的摩擦学研究
微细尺度流动与传热尺度效应的物理机制及其应用
超磁致伸缩薄膜性能测试与评价
飞秒激光微纳米加工技术
复杂结构的飞秒激光双光子微细加工
基于等光强面的飞秒激光三维微加工分辨力研究
脉冲激光微加工技术在MEMS中的应用
纳米隧道结的SPM加工方法研究
AFM加工中材料去除机理研究
集成微泵式微流控芯片的设计与测试
嵌段共聚物自组装在微纳制造领域的应用研究
LIGA技术、准LIGA微加工技术及其应用
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