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硅微电容式超声换能器谐振频率的有限元分析

郝震宏;汤亮;乔东海

  本文运用有限元方法计算了硅微电容式超声换能器(cMUT)的谐振频率,并考虑了实际换能器振动膜制备有电极薄膜的情况,分别计算了具有不同厚度的金电极和铝电极的振动膜的谐振频率,分析了电极对于谐振频率的影响,对cMUT的设计有一定的辅助意义。……