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高声速SAW复合压电薄膜研究

陈运祥;谭学斌;唐代华;李洪平;李燕;赵雪梅;张永川

  本文阐述了高声速SAW复合压电薄膜材料SiO_2/Al/ZnO/IDT/金刚石/Si的研究进展情况,给出了该复合结构压电材料的制作方法和实验结果。φ2 金刚石/Si材料表面粗糙度达到0.89nm,金刚石膜晶粒粒度在5~10μm范围。ZnO膜体电阻率ρ_v达到1.9×10~9Ω.cm。ZnO薄膜C轴垂直取向度2σ达到2.7~0。用该压电材料制作出了SAW滤波器,西沙瓦(Sezawa)波模式相速度Vp达11106m/s,器件频率达到3.1GHz。……