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小型共面接口压差传感器

金琦;李长春;杨勇;刘宏伟;孙克

  小型共面接口压差传感器是一种压力传感器,该传感器主要用于测量和控制两个油路压力差。该产品采用 SOI 硅晶圆材料制作硅压阻式压力敏感芯片,敏感元件的工作温度范围为-55~ 300℃,通过双芯体结构将油路的压力差信号转换成电信号,再利用精密的信号处理电路,将微弱的电信号进行放大处理,实现标准的模拟信号输出。……   
[关键词]:传感器;SOI;压差;信号处理
[文献类型]:会议论文
[文献出处]: 《第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集2007年
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