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涂膜SAW的气、湿敏传感器响应特性研究

骆如枋

  大量事实表明,涂膜SAW气、湿敏传感器的实际响应值要比Wohltjen公式的预期值大得多.与石英QCM和GLC测试结果对比,发现涂膜SAW气、湿敏传感器的实际响应值比纯质量效应响应值要超出2倍~5倍.产生这种现象的原因,是因为绝大多数聚合物涂膜均具有明显的黏弹性,在吸湿、吸气后会产生膜的溶涨软化,使膜的剪切模量明显下降,从而使传感器频降加剧;当膜的软化达到一定程度后,又会产生膜振荡,传感器振荡频律明显增加,响应曲线反弹上升;如果膜继续软化或膜的厚度较大,还可能发生膜的高次振荡.基于此可建立一个对涂膜SAW湿度传感器响应的预期模式,进而对其响应值进行预测.……   
[关键词]:气敏器件;湿度传感器;高聚物
[文献类型]:会议论文
[文献出处]: 《第六届全国气湿敏传感器技术学术交流会论文集2000年