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ZrO_2掺杂SnO_2厚膜的制备及其气敏性能研究

吉向东;杨纪青;王汉忠;方国家

  采用化学共沉淀法成功地制备了ZrO2掺杂的SnO2超微粉,用丝绸印刷法制备了厚膜型气敏传感材料,并制成了平面型气敏元件.研究了不同掺杂量、不同烧结温度的厚膜材料的气敏性能.实验表明:掺杂降低了纯SnO2厚膜的电阻及敏感温区的温度,并且烧结温度对气敏性能影响较大.在200℃下,掺杂量为1%的ZrO2-SnO2厚膜对浓度为2×10-5的H2S气体具有较好的灵敏度(β=5.2),响应恢复时间均<1 min.……   
[关键词]:厚膜;气敏器件;烧结;超微粉
[文献类型]:会议论文
[文献出处]: 《第六届全国气湿敏传感器技术学术交流会论文集2000年