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金属氧化物气敏薄膜的厚度效应(Ⅱ)——扩散反应理论和气敏晶体的介观效应

刘文利;李宇兵;李蕾;高建华;裘南畹

  通过对扩散反应方程的求解和无量纲分析给出了响应时间和恢复时间随膜厚、气体浓度变化的关系式.由于气敏晶体尺寸r0→0时不能满足热力学极限,于是对Fermi统计公式提出了修正,并由此推出了最佳晶粒尺寸r0 的计算公式,推导出了电导激活能随膜厚变化的曲线.……