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金属氧化物气敏薄膜的厚度效应(Ⅰ)——气敏薄膜厚度效应的实验规律

李宇兵;刘文利;高建华;李蕾;裘南畹

  介绍了N型金属氧化物气敏薄膜厚度效应的实验规律.给出了响应时间和恢复时间随膜厚及气体浓度变化的规律;指出了气敏薄膜存在最佳灵敏度的膜厚和最佳晶粒尺寸的事实;给出了低真空退火后气敏薄膜的电导激活能随膜厚变化的实验曲线.……