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金属有机化合物化学气相淀积Pd-Ni膜的氢敏性能

彭定坤;黄磊;孟广耀

   以金属钯和镍的乙酰丙酮螯合物为混合源,采用金属有机化合物化学气相淀积法在多孔氧化铝陶瓷衬底上生长Pd-Ni合金膜.X射线光电子能谱测定表明膜的组成十分接近混合源内的Pd,Ni物质的量比.应用扫描电镜和原子力显微镜观察膜层形貌,发现多孔衬底对膜层形貌影响极大,从而影响对氢气的敏感性能.在大孔α-Al2O3(孔径为0.2 μm)衬底上生长的Pd-Ni淀积膜呈现多孔不连续形貌,由此制作的氢敏感元件具有很高的氢灵敏性,显著高于电子束蒸发制备的Pa膜的氢灵敏度.相反,在微孔γ-Al2O3衬底(孔径为4 nm)上生长的Pd-Ni薄膜表面均匀,具有金属镜面光泽,但是对氢的灵敏度则比在α-Al2O3衬底上的Pd-Ni薄膜要小得多.……