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毫米波锯齿形分布式MEMS移相器等效电路分析与设计

金博识;刘钢;吴昱明;吴群

  本文将规则共面波导的中心导体设计成锯齿形结构,通过在不连续处所产生的电感抵消了加载MEMS金属桥后所引入的电容,从而进一步降低了反射系数。采用等效电路建模的方法对锯齿形分布式MEMS移相器进行了分析和设计,并进行了全波分析验证,从分析结果来看,全波分析结果和电路模型符合的比较好。该模型可以有效地简化设计的复杂程度,与以往的结果相比,反射系数S_(11)降低了约8dB左右。……