手机知网 App
24小时专家级知识服务
打 开
手机知网|搜索

外围减薄振动膜的硅微电容传声器

张晓辉;汪承灏;徐联;魏建辉;马军;李俊红

  硅微电容传声器是 MEMS 技术的一个热点.为了减小硅微传声器的体积,需要减小传声器振动膜的面积.由于传声的灵敏度是与振动膜的张力成反比的.减小振动膜的张力是小面积振动膜传声器灵敏度提高的一个有效途径. 减小振动膜张力的方法是让振动膜的外围减薄.本文给出了这种结构的传声器的分析,设计和工艺测量.测量结果表明,与普通均匀膜传声器相比,灵敏度可以提高6 dB.如果再对本结构传声器作进一步改进,传声器的灵敏度还可以进一步提高,它将会全面满足实用上的需求.……   
[关键词]:硅微电容传声器;振动膜
[文献类型]:会议论文
[文献出处]: 《2007’促进西部发展声学学术交流会论文集2007年