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圆形复合振动膜硅微压电传声器的研制

李俊红;汪承灏;徐联;刘梦伟

  本文介绍了一种圆形复合振动膜氧化锌硅微压电传声器,对其制备工艺流程进行了较为详细的描述,并对关键工艺进行了研究,与方形振动膜相比较,采用硼扩散技术实现了圆形化的振动膜,具有较低的薄膜应力,复合的振动膜结构,能降低振动膜应力并增加了振动膜的有效弯曲,采用电极分割串联结构,可望提高传声器的灵敏度。……