手机知网 App
24小时专家级知识服务
打 开
手机知网|搜索

氧化锌压电薄膜界面特性的研究

谢和平;曾伦;邓惠中;邓克强;陈建益;杨成韬

  ZnO 薄膜具有的优良的压电性能,已经被广泛的应用于制作声表面波器件,利用射频磁控溅射的方法在 si/SiO_2/Pt 上制备了 ZnO 薄膜,通过高分辨电子正微技术对薄膜的界面特性进行了分析,并对 ZnO 薄膜中的各种取向进行了标定,研究表明,ZnO 与下电极 Pt 晶格匹配非常好,完全没有错排,呈共格生长,ZnO 薄膜是沿 c 轴方向的择优生长。……