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薄膜体声波谐振器建模与仿真

汤亮;汪承灏;郝震宏;乔东海

  本文对薄膜体声波谐振器进行了建模,尤其是在模型中考虑了材料的声损耗和压电膜介电损耗,从制备的高次谐波体声波谐振器电学测试结果中提取出尺寸为5×10~(-8)m~2×2μm的氧化辞压电薄膜介电损耗电阻在87OMHz 时约为 303Ω,分析了不同压电膜介电损耗对器件 Q 值的影响,发现压电膜介电损耗将导致器件并联谐振频率处的 Q 值急剧减小。……