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ESD应力下的电阻特性研究

路香香;罗宏伟;姚若河

  随着集成电路的尺寸越来越小,其对静电放电(Electrostatic Discharge,ESD)也变得越来越敏感,而电阻在 ESD 保护电路中可以起到隔离和分压的作用.本文主要对 ESD 应力下的扩散电阻的四个区域:线性区,饱和区,负微分电阻区和二次击穿区的模型作了简单的分析,并通过 TLP 的实验对这几个区域进行了对比分析,着重讲述了二次击穿区即热击穿区的电阻特性.……   
[关键词]:扩散电阻;TLP 测试;二次击穿
[文献类型]:会议论文
[文献出处]: 《2007'第十二届全国可靠性物理学术讨论会论文集2007年