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上海先进半导体公司6”0.8μ集成电路生产线微环境装置设计与使用小结

杨景安

  上海先进半导体制造公司(ASMC)是一家专门从事大规模集成电路芯片制造的合资企业(中国, 荷兰,加拿大三方合资),她的前身就是1988年10月正式成立的上海飞利浦半导体公司(PSCS). PSCS在90年代初建成投产一条5”2μ的双极型消费类电路生产线,洁净室面积为1800m2洁净等级从 10级-10,000级不等.1995年加拿大北方电讯公司(NT)参股增资后更名为ASMC.……