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基于MEMS数据存储器中的二维驱动器结构数值模型分析

骆英;沈毅

   MEMS技术是一种新的可以在一个很小的空间内构建复杂的机械结构,系统的尺寸至少要用微米来度量。在过去十年中MEMS技术已经应用于安全气囊传感器(加速计)、压力传感器、显示器、自适应光器件、扫描仪、打印机以及数据存储器等。……   
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