手机知网 App
24小时专家级知识服务
打 开
手机知网|搜索

MEMS生物微电极阵列的制备与实验研究

伍晓明;林建辉;黄朋生;刘建设;任天令;高小榕;刘理天

  本文设计并制造了一种基于微机电技术的生物微电极阵列,用于神经细胞的电信号读取研究。阵列由四个等间距的微硅针组成,每个硅针上有四个20μm × 20μm的金电极。对微电极阵列的MEMS 工艺流程进行了简要的介绍,并实现了印刷电路板级的封装。采用三点测量法测量了微电极在生理盐水中的阻抗,当频率为1kHz时,阻抗约为1.3MΩ,满足神经信号记录的应用要求。用该电极进行了牛蛙坐骨神经电信号的检测,记录到了清晰的信号脉冲。……