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偏置电压对硅微电容超声换能器频率的影响分析

郝震宏;汤亮;乔东海

  本文运用有限元方法计算了硅微电容式超声换能器(cMUT)的谐振频率,并考虑了实际换能器工作需要施加直流偏置电压的情况,分别计算了有偏置电压时不同厚度振动膜的谐振频率,分析偏置电压对硅微电容超声换能器谐振频率的影响。……