手机知网 App
24小时专家级知识服务
打 开
手机知网|搜索

基于LIGA技术的微细电火花加工研究

彭良强;伊福廷;张院春;邹丽芸;张菊芳;韩勇

  实验探讨了采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术。通过同步辐射深度光刻得到具有微细结构的胶模具,使用电铸技术得到镶嵌在胶结构中的铜工具电极,去胶后利用该电极进行微细电火花加工实验,在不锈钢上加工出异形微细孔。……   
App内打开