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制备工艺对MOCVD法制备铝掺杂氧化锌透明导电膜结构及性能的影响

杨泰生;谢春燕;张跃

  采用自行设计的大气开放式金属有机化学气相沉积(MOCVD)设备,以乙酰丙酮锌和乙酰丙酮铝为原料,氮气为载气,制备了铝掺杂氧化锌(ZAO)薄膜,采用XRD和SEM对薄膜的物相组成和表面结构进行表征。结果表明,ZAO薄膜为多晶薄膜,具有六方纤锌矿结构且沿C轴择优取向生长,随着Al掺杂量的增加,取向度降低。基片温度、载气流量等工艺条件对薄膜的结构有重要影响,从而影响了薄膜的光学和电学性能。适当的掺杂量和均匀致密的ZAO薄膜具有最优化的光学和电学性能。……